采購品目:A02110205集成電路參數(shù)測量儀
預(yù)計采購時間:2022-12
極端低溫強磁電學(xué)測試系統(tǒng)主要配置包括低溫探針臺主機、溫控裝置、顯微單元、磁場單元、樣品臺、水冷機、分子泵,實現(xiàn)半導(dǎo)體及半導(dǎo)體功率器件IV、CV特性測試,配備2.5T垂直磁場(采用超導(dǎo)螺線管)和10K低溫,可在不同的磁場、溫度和電流下根據(jù)測試結(jié)果計算出電阻率、霍爾系數(shù)、載流子濃度和霍爾遷移率。 1. 低溫探針臺主機 1.1 溫度范圍要求:10K-500K; 1.2至少四個直流探針臂(預(yù)留光纖接口); 1.3樣品環(huán)境真空度優(yōu)于10-3Torr; 2. 溫控裝置 2.1溫度穩(wěn)定性:優(yōu)于±100mK,小于100K時優(yōu)于±50mK; 2.2 配置溫度傳感單元與溫度控制單元,可通過軟件控溫; 3. 顯微單元 3.1 綜合放大倍率不小于500倍; 3.2 顯微分辨率優(yōu)于5μm; 4. 磁場單元 4.1磁場垂直方向,中心磁場最大±2.5T; 4.2磁場均勻性:0.5%中心10mm直徑球體,1%中心20mm直徑球體; 5. 水冷機 5.1 名義制冷量:8KW @25℃ 5.2 控溫方式:啟停 5.3 冷卻方式:壓縮機制冷 5.4 控溫精度:±1℃ 控溫范圍:5-35℃ 6. 分子泵 6.1 前級泵(干式真空泵):MVP 015 6.2 前級泵抽速(50 HZ):3m3/h 6.3 分子泵組 極限真空度:< 1x10-7 hPa 極端低溫強磁電學(xué)測試系統(tǒng)需求為1臺,質(zhì)保期為12個月。
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