采購品目:A02120199其他長度計量標準器具
預計采購時間:2022-11
主要配置包括:XY軸直線電機氣浮導軌位移臺,Z軸直線電機位移臺,二維掃描振鏡,運動控制器以及各運動軸配套的驅動器。 1. XY軸直線電機氣浮導軌位移臺 1.1 XY軸行程:200mm × 200mm 1.2 定位精度:±0.4μm 1.3 重復定位精度:±0.1μm 1.4 直線度:±0.5μm 1.5 平面度:±0.5μm 2.Z軸直線電機位移臺 2.1行程:60mm 2.2 定位精度:±175nm 2.3 重復定位精度:±75nm 2.4 直線度:±1.5μm 2.5 平面度:±1.5μm 3.二維掃描振鏡 3.1 通光孔徑:10mm 3.2 掃描角度:±20° 3.3 定位精度:50μrad(峰峰值) 3.4 重復定位精度:0.4μrad(均方根值) 4.運動控制器及驅動器 4.1 支持無限視場掃描技術(IFOV) 4.2 直線電機驅動器采用3U結構,集成線性放大器 4.3 支持二維(XY軸)位置同步輸出 4.4 支持.Net及C++等編程語言進行二次開發 4.5 高速Hyperwire光纖通訊接口
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