采購品目:A02100305電子光學及離子光學儀器
預計采購時間:2022-11
目前,在多種材料的局部沉積與精細切割等一系列的重大科學問題的解決方面,需要納米尺度進行原型制作、加工、兩維/三維表征和分析。聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)可實現(xiàn)超高分辨率下的兩維/三維表征,以及納米結(jié)構修整和高質(zhì)量的樣品制作、多種材料的局部沉積與精細切割,這些問題的解決將會為吉林大學雙一流學科建設貢獻力量。因此,需要采購一套聚焦離子束顯微鏡。 技術參數(shù):1 工作條件 1.1 電源電壓:230V±10%, 50Hz 1.2 工作溫度:17°C~24°C 1.3 濕度:≤ 65% RH 1.4 儀器運行的持久性:長時間連續(xù)工作,較強的防震能力,工作穩(wěn)定。 1.5 儀器整體采用先進的無油真空、無需冷卻循環(huán)水,保證設備使用過程中安全、穩(wěn)定使用 2離子束系統(tǒng) 2.1 離子源類型:Xe離子源 2.2 離子束分辨率:優(yōu)于12 nm @ 30kV 2.3 離子束束流:最大束流不低于3uA 2.4 離子槍傾斜角度:55度 2.5 搭配一支氣體注入系統(tǒng),可支持Pt、SiOx、W、XeF等多種氣體;最多可拓展至6支氣體注入系統(tǒng) 2.6 配備納米操作手 售后服務: 1儀器到達最終用戶現(xiàn)場后,在接到用戶通知一周內(nèi),賣方安排有經(jīng)驗的工程技術人員到用戶現(xiàn)場安裝、調(diào)試,按驗收指標逐項測試至到達到驗收要求;儀器的安裝調(diào)試需在接到用戶通知后30日內(nèi)完成。 2技術培訓:儀器安裝調(diào)試合格后,賣方工程師在買方現(xiàn)場對買方人員進行操作及日常維護培訓,直到買方人員能獨立操作。
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