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教育部
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【政府采購意向】 聚焦離子束加工（雙束）
招標單位：
招標年份：
所屬地區(qū)：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A033499其他專用儀器儀表
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】 聚焦離子束加工（雙束）
預算金額：1120 萬元
采購需求：
購置1臺。 1.電子束分辨率1 nm 2.離子束分辨率<20 nm 3.樣品臺和樣品， XY 范圍：110 mm， Z 范圍：65 mm
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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