采購品目:A02100301顯微鏡
預計采購時間:2023-02
形狀測量激光顯微系統,數量:1套。 該系統主要用于實驗室微加工器件的研制,采集材料表面三維形貌并測量相關三維形貌尺寸。 主要技術參數: (1)光源:具有激光或白光光源;激光:波長≤404nm紫色半導體激光;白光為LED光源; (2)a.激光共焦;b.聚焦變化;c.雙掃描功能:可以通過自動調節激光強度來進行正常和高曝光兩次掃描,克服明暗差異大的樣品表明掃描; (3)xy顯示分辨率≤0.1nm;Z軸測量:Z軸驅動采用物鏡轉盤上下電動驅動方式;Z軸顯示分辨率:≥0.1nm; (4)物鏡:全部為激光共聚焦掃描顯微鏡的專用物鏡:至少包括10X,20X,50X,100X; (5)穩定測量傾角≥87.1度的斜面,XY載物臺電動運行范圍≥100mm*100mm,軟件可以實現2D、3D圖像觀察,并能通過圖像測量長度、高度、角度、面積、體積、粗糙度(ISO)等精確測量。具有表面形貌測量、透明膜厚測量等模式。可以通過自動調節激光強度來進行正常和高曝光兩次掃描,來克服明暗差異大的樣品表明掃描。 交付時間:6個月; 交付地點:中山大學東校區化學材料綜合樓 售后服務要求:保證儀器培訓和兩年質保
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