|
搜索
搜 索
高等教育領域數字化綜合服務平臺
半導體輔材用多晶硅中碳、氮雜質的分離去除技術
伴隨著我國半導體行業的迅速崛起，硅電極作為光刻設備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉變為多晶硅電極，然而多晶硅制備過程中不可避免存在C、N雜質的污染，導致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質顆粒夾雜，嚴重影響了多晶硅電極的使用性能。
傳統制備技術下，設備熱場結構單一，熔體流動性差，導致SiC、Si3N4雜質循環溶解—析出，難以有效分離。本項目團隊前期利用電子束精煉技術去除硅中的蒸發性雜質（P、 O、N）；利用電子束誘導實現多晶硅的定向凝固，進而分離硅中的金屬雜質；基于電子束冷床效應分離硅中的SiC、Si3N4硬質顆粒，并揭示硬質顆粒與硅基體間的位相關系；基于上述研究開發出了多晶硅電極的制備工藝，可應用于刻蝕等半導體制造等領域。
本項目預期可以為半導體行業中硅電極生產制造企業提供穩定的技術支持，具有很好的生產示范性，實現高新技術產業化。該技術能夠有效地降低生產過程中的能耗，是一種低成本、環境友好的生產方法，屬于節能、環保的綠色制造技術。該技術的大規模應用和推廣，可大幅增加就業崗位，提高企業的市場競爭力，保護環境。
大連理工大學
2021-05-10
硅晶片線切割用6HSiC微粉材料的研究及產業化
關鍵工序生產的自動化 ① 粉碎（雷蒙磨）自動控制系統的研發 研制可對粉碎車間雷蒙磨振動下料、粉碎、氣流粗分工況進行實時監測、自動優化控制的自動監控系統。將雷蒙磨因堵塞停機造成的故障次數比現階段減少75%，且提高工效15%以上。 ② 氣流分級自動控制系統的研發 研制氣流分級機用自動控制系統，具備以下功能：可根據分級輪主機負載實時自動調節喂料速度、根據所設定的風壓值自動調整變頻器運行、根據生產工藝要求自動向企業綜合信息平臺實時發送生產工況參數。 ③ 提純工序實時檢測與信息管理系統的研發 開發可對提純缸、脫水機、烘干爐等主要設備工況進行實時監控的智能化監控儀設備。 ④ 水力分級自動控制系統的研發 研發水力分級設備用自動控制系統，可根據工藝曲線要求自動控制水流量。采用水泵變頻控制，變常規的高低液位控制為恒液位控制，液位控制精度達到0.3%；研制出料自動切換裝置，實現出料無人值守。 ⑤ SiC冶煉爐在線自動測控裝置的研發 研制SiC冶煉爐在線自動測控裝置，可按冶煉工藝和爐溫自動進行恒功率綜合優化控制，爐溫控制精度達到2.5級。成果已在工廠正常運行3年。獲得4項發明專利授權，5項軟件著作權授權 雷蒙磨粉碎自動檢測方法及裝置 專利號：ZL200810020792.3 一種提高碳化硅微粉水溢流分級效率的精密控制方法 專利號：ZL200910035173.6 一種燃煤鍋爐能效監測方法 專利號：ZL201110091483.7 陣列式LED照明燈具的中心區域溫度動態控制方法 專利號：ZL201210356239.3 一種經濟型燃煤鍋爐能效監測系統及方法 專利號：ZL201110292517.9 一種低冗余度高可靠性船舶發電機組智能測速裝置 專利號：ZL201110058228.2一種手機可遙控的總線型區域供熱計量管理系統 專利號：ZL201010134495.9
東南大學
2021-04-13
硅基微納結構調控太陽光譜提升光伏器件效率的研究
擁有人工微結構科學與技術協同創新中心、固體微結構物理國家重點實驗室、半導體節能器件及材料國家地方聯合工程中心以及江蘇省光電信息功能材料重點實驗室等科研平臺，在硅基納米結構材料與性能調控，硅基光子學器件和新型能源器件等基礎研究領域具有很強的影響力。近年來，在硅基太陽能電池片研發及其新型結構材料在電池片上應用等方面開展了全方位的研究，承擔完成了國家重點基礎研究發展計劃課題和國家自然科學基金重點項目等相關課題的研究。提出了漸變帶隙的納米硅量子點電池結構，利用漸變帶隙進一步拓寬電池的響應光譜范圍，發展了包
南京大學
2021-04-14
多晶硅生產冷氫化工藝加熱合成反應關鍵技術裝備
實現多晶硅生產冷氫化工藝過程工程化的關鍵加熱系統裝置；降低成本40%，減少能耗2/3。8000小時以上無故障穩定運行加熱合成反應器關鍵技術。
常州大學
2021-04-14
一種硅太陽能電池正面銀電極用銀粉的制備方法
本發明公開了一種硅太陽能電池正面銀電極用銀粉的制備方法， 包括以下步驟：將硝酸銀和檸檬酸溶于去離子水配制得到 A 溶液；將 瓜爾豆膠、抗壞血酸以及硝酸溶于去離子水中配制得到 B 溶液；在攪 拌的情況下，將 A 溶液逐漸滴加到 B 溶液，反應一段時間；靜置，沉 淀得到銀粉。本發明通過引入瓜爾豆膠為反應離子分散劑、檸檬酸為 粒子表面改性劑，在液相化學還原法下制備得到平均粒徑 D50 為 1.0-3.0μm 的銀粉，并兼顧
華中科技大學
2021-04-14
基于 SiCx 織構的硅量子點浮柵非易失性存儲器及其制備方法
本發明公開了一種基于 SiCx 織構的硅量子點浮柵非易失性半導 體存儲器及其制備方法，包括硅襯底，在硅襯底上摻雜形成的源導電 區和漏導電區，以及在源漏之間的載流子溝道上依次生長的隧穿氧化 層、電荷存儲層、控制柵氧化層及金屬柵層；所述電荷存儲層包括 SiCx 織構和橫縱向均勻分布于 SiCx 織構中的硅量子點。本發明有效利用硅 量子點-SiCx 織構間的隧穿勢壘，構成了控制柵氧化層-SiCx 織構-Si 量子點-SiC
華中科技大學
2021-04-14
一種有機硅型海洋防污涂料基料及其制備方法和應用
本發明公開的有機硅型海洋防污涂料基料，它的結構如式（1），式中為含有殺菌劑側鏈的有機硅聚氨酯化合物，R為CH2CH3。制備步驟包括：1）氯丙基甲基二甲氧基硅烷和二甲基二甲氧基硅烷反應得到含氯丙基聚硅氧烷；2）將含氯丙基聚硅氧烷、叔胺和含羥基叔胺回流反應，生成含有季銨鹽與羥基的聚硅氧烷；3）將異氰酸酯、二月桂酸二丁基錫和含有季銨鹽與羥基與溶劑混合，加入γ-氨丙基三乙氧基硅烷進行擴鏈，得到含有交聯基團-Si(OCH2CH3)的預聚體，預聚體在空氣中交聯縮合，即可。本發明的有機硅型基料既有低表面能性能，有很好的疏水性，分子鏈上也有環保型殺菌劑，有很好的殺菌效果，達到很好的海洋防污效果式（1）。
浙江大學
2021-04-13
一株對灰霉病菌有抑制作用的嗜麥芽假單胞菌菌株QBA-5及其應用
本發明公開了一株對灰霉病菌有抑制作用的嗜麥芽假單胞菌菌株QBA-5及其應用，本發明通過篩選獲得的菌株QBA-5其分類命名為嗜麥芽假單胞菌Pseudomonas?maltophilia，保藏于中國典型培養物保藏中心，其保藏編號為CCTCC?M?2015403。本發明具體經過對灰霉病菌孢子、芽管伸長和離體葉片的實驗，證明本發明獲得的菌株QBA-5具有對灰霉病菌的強抑制作用，可以將其制備成防治灰霉病菌的生防制劑，具有良好的市場應用前景。
青島農業大學
2021-04-13
人才需求: 高分子材料專業人員，對高分子材料改性有工作經驗的最好。
1、 高分子材料專業人員，對高分子材料改性有工作經驗的最好。2、 設備自動化或智能化面的專業人員，提高傳統生產線的自動化和智能化水平，減少對人員的依賴性，提高設備的綜合技術水平。
肥城聯誼工程塑料有限公司
2021-09-01
基于諧振頻率的硅微諧振式加速度計在線溫度補償方法
本發明公開了一種基于諧振頻率的硅微諧振式加速度計在線溫度補償方法，在零加速度情況下標定出兩諧振梁諧振頻率平方和與其諧振頻率差的單調變化關系曲線，然后在輸入加速度情況下對兩諧振梁諧振頻率和諧振頻率差進行測量，結合先前獲得的關系曲線將溫度引起的諧振頻率差從測量得到的諧振頻率差中減去，完成溫度補償工作。本發明提供的硅微諧振式加速度計溫度補償方法，克服了傳統直接溫度補償方法中溫度場分布的不確定性和熱傳導延遲給補償結果帶來較大偏差的缺陷，能夠實現實時的、高精度的溫度補償。本發明方法的溫度補償成本低，該方案全部基于FPGA實現，不需要額外增加傳感器和引入其它設備，僅利用已有電路器件即可實現。
東南大學
2021-04-11