聲表面波（SAW）器件由壓電材料、叉指換能器（IDT）和振蕩

電路構成。SAW 器件已經廣泛地應用于通信、雷達、電子對抗、廣播

電視等民用和軍用領域中。

由 SAW 器件可以構成的多種傳感器，其原理是器件周圍物理量、

化學量和生物量的變化引起 SAW 器件振蕩頻率的偏移，通過檢測頻率的變化來監測加速度、溫度、濕度、壓力、剪切、彎曲等參量。

SAW 傳感器具有獨特的優點。與常用的半導體氣敏傳感器相比，

它不受溫度影響，靈敏度高，穩定性好；設計結構靈活，對電、熱、

力、聲、光、化學及生物等多種因素敏感；采用 SAW 技術其輸出信

號為振蕩器頻率的變化，無需經過 A/D 轉換，易于與計算機接口；抗

干擾能力強，靈敏度高，檢測范圍線性度好，測量重復性好，適合遠

距離傳輸和實現遙測遙控。其采用集成電路中的平面工藝制作，可實

現集成化、智能化，使得 SAW 傳感器體積小、重量輕，攜帶方便。

更重要的是，SAW 傳感器件的成本低，能夠進行大批量生產，更符

合產業化要求。

SAW 化學傳感器是繼半導體傳感器和光纖傳感器之后的新秀。

SAW 化學傳感器依據不同的基底材料、不同化學薄膜可以檢測 SO2、

H2、NH3、H2S、NO2、丙酮、甲醇、水蒸氣、等多種化學成分。因此

可廣泛用于大氣環境監測、化工過程控制、汽車排放尾氣控制、毒品

檢測、臨床分析等領域。這種傳感器還可以檢測破壞人體神經、血液

的毒氣，包括 Sarin（沙林）、Soman（梭曼）、VX、Mustard（芥子氣）、

Nitrogen Mustard（氮芥）、Hydrogen Cyanide（氰化氫）、Cyanogen

Chloride (氯化氰)、Lewisite（劉易士毒氣）、有機磷、有機硫等化學戰

劑。化學戰劑檢測問題受到各國高度重視。化學戰劑的檢測設備種類

繁多，聲表面波化學傳感器具有獨特的優點，更符合實戰要求。