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一種基于雙層熱電堆結構的風速風向傳感器及檢測方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
風速風向傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種基于雙層熱電堆結構的風速風向傳感器及檢測方法，該傳感器結構簡單，且易于測量，具有高靈敏度。所述基于雙層熱電堆結構的風速風向傳感器，所述風速風向傳感器包括硅襯底、位于硅襯底上方的二氧化硅層，以及位于二氧化硅層中的加熱電阻、上層熱電堆組和下層熱電堆組；上層熱電堆組和下層熱電堆組上下布設；加熱電阻分別與第一加熱電阻接觸塊和第二加熱電阻接觸塊連接。
項目階段:
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