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一種基于超材料結(jié)構(gòu)的壓力傳感器
2021-04-11 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞：
壓力傳感器
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開了一種基于超材料結(jié)構(gòu)的壓力傳感器，該壓力傳感器包括基板、輸入微帶信號(hào)線一、輸入微帶信號(hào)線二、金屬?絕緣層?金屬（MIM）電容的下極板、金屬?絕緣層?金屬（MIM）電容的絕緣層、金屬?絕緣層?金屬（MIM）電容的上極板、開路短截線電感、微帶信號(hào)線三、微波功率合成器的輸入端、微波功率合成器的輸出端、微波功率合成器的隔離電阻連接用微帶信號(hào)線、微波功率合成器的隔離電阻、微帶線地線、壓力感應(yīng)腔體；該壓力傳感器采用金屬?絕緣層?金屬（MIM）電容感應(yīng)壓力的變化，并通過微波功率合成器合成的微波功率變化實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量，具有靈敏度高、體積小、測(cè)量范圍大、測(cè)量誤差小的優(yōu)勢(shì)。
項(xiàng)目階段:
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