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一種可單面封裝的雙膜電容式壓力傳感器及制作方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞：
雙膜電容
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡介:
本發(fā)明涉及壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域，特指一種可單面封裝的雙膜電容式壓力傳感器及制作方法，包括玻璃襯底，玻璃襯底上設(shè)有小淺槽與大淺槽，小淺槽通過細(xì)槽連通于大淺槽，大淺槽上設(shè)有可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2，可測量低壓差的電容C1包括底電極板與薄壓力敏感膜，可測量高壓差的電容C2包括厚壓力敏感膜與頂電極板，小淺槽通過細(xì)槽與可測量低壓差的電容C1對應(yīng)設(shè)置，可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2對應(yīng)設(shè)置。本發(fā)明采用變間距原理實(shí)現(xiàn)壓力到電容的轉(zhuǎn)換，可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2分別實(shí)現(xiàn)了低壓段與高壓段的高精度測量，不僅提高了壓力測量精度，也提升了傳感器的測量范圍。
項(xiàng)目階段:
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