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一種扭擺式叉指微機電磁場傳感器
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
微機電磁場傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種用于測量磁場方向的微機電系統磁場傳感器，包括從下向上依次疊加設置的玻璃襯底，深摻雜硅層，摻雜硅層的中部為扭轉叉指結構，扭轉叉指結構的正對位置設置有靜態叉指結構。靜態叉指結構的兩端設有錨區，中間扭轉可動叉指的的支撐梁的兩端都設有錨區；靜態叉指與中間扭轉叉指形成第一電容和第二電容。該磁場傳感器結構簡單，可以實現磁場方向以及幅度的測量。
項目階段:
小批量或小范圍應用
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