基于準(zhǔn)田字形壓電振子驅(qū)動的平面電機(jī)

其它領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及多自由度壓電超聲電機(jī)技術(shù)，具體涉及基于準(zhǔn)田字形壓電振子驅(qū)動的平面電機(jī)，包

括定子組件、動子組件、支座組件和預(yù)緊組件，采用準(zhǔn)田字形定子組件，且通過預(yù)緊組件與支座組件連

接；動子組件分別連接定子組件和支座組件。電機(jī)通過激發(fā)準(zhǔn)田字形定子組件的面外一階對稱彎曲振動、

左右圍桿面內(nèi)一階彎曲振動、前后圍桿面內(nèi)一階彎曲振動三種模態(tài)的振動或近共振復(fù)合出兩相橢圓運(yùn)動

軌跡，據(jù)此推動動子組件交替地沿 x、y 向移動。可實(shí)現(xiàn)微米甚至更高精度級平面運(yùn)動；

未應(yīng)用

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