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一種石墨烯復合膜片上電感
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
石墨烯復合膜片
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種石墨烯復合膜片上電感，屬于微電子器件技術領域。本發明中，位于襯底上方的
片上電感采用石墨烯復合膜作為電感線圈材料，石墨烯復合膜由石墨烯層、絕緣介質層、金屬導電層依
次疊加組成。其中，石墨烯層和金屬導電層共同組成片上電感的導電通道，有利于降低電感電阻值，提
高電感品質因數；絕緣介質層位于石墨烯層與金屬導電層之間，對石墨烯層和金屬導電層主體進行隔離
以降低金屬導電層對石墨烯中電子輸運的干擾，使石墨烯提供大動態電感，大幅增加片上電感電
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