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適用于 IC 裝備工件定位運動臺的仿真系統及其建模方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
IC 裝備工件
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種適用于 IC 裝備工件定位運動臺的仿真系統及 建模方法，該方法包括:獲取運動臺基礎部件的部件模型，將所述部 件模型以學科領域進行分類，構建部件級多領域模型庫;選用部件級 多領域模型庫中的部件模型，構建功能模塊級模型庫;選用所述功能 模塊級模型庫中的模型構建系統級模型;對系統級模型進行檢查，檢 查無誤后設定模型參數，以完成運動臺仿真系統的建模。該系統包括部件級多領域模型庫、功能模塊級模型庫、系統級模型、模型編譯及 仿真模塊、輸出模塊。上述部件級多領域模型庫、功能模塊
項目階段:
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