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一種兩自由度隔振與精密定位的復合主動隔振器
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
復合主動隔振器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種兩自由度隔振與精密定位的復合主動隔振器， 該隔振器包括基礎平臺(10)和負載平臺(30)，該隔振器還包括隔振單 元，其設置在所述基礎平臺(10)和負載平臺(30)之間，所述隔振單元包括沿第一方向設置的空氣彈簧(20)和第一音圈電機(25a)，所述隔振單 元還包括沿第二方向設置的可調剛度片彈簧和第二音圈電機(25b)，該 隔振器還包括定位單元，其設置在所述隔振單元的外側，所述定位單 元包括沿第一方向設置的比例壓力閥(26)，所述定位單元還包括沿第二 方向的第二音圈電機(25b)。本發明
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