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一種基于靜電控制扭擺的導體表面電勢測量儀
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
導體表面電勢測量儀
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明提供了一種基于靜電控制扭擺的導體表面電勢測量儀，包括懸絲、探針支架，掃描探針，多自由度微位移平移臺，角度傳感器，控制系統和反饋執行機；掃描探針設置在探針支架的任意一個端面上；懸絲懸掛探針支架構成扭擺；工作時，待測樣品設置在多自由度微位移平移臺上，待測樣品的待測表面正對且平行于掃描探針的端面；掃描探針的端面與待測表面不接觸；當掃描探針與待測樣品之間存在相互作用時，角度傳感器將檢測的扭擺的扭轉信息傳給控制系統；進行 PID 運算后獲得的反饋控制電壓傳給反饋執行機，產生一個與外力矩等大的反饋控制力矩
項目階段:
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