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一種適用于柔性電子制備的多功能氣壓控制系統
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
柔性電子制備
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種適用于柔性電子制備的多功能氣壓控制系統， 其包括氣源調節單元、信號處理單元和信號反饋單元，氣源調節單元
·115·
包括氣源組件、電磁閥組件、電控調壓閥組件和氣壓輸出口，氣源依 次經過氣源組件、電磁閥組件和電控調壓閥組件，并由氣壓輸出口輸 出；信號處理單元包括信號處理器、電磁閥控制器和調壓閥控制器， 信號處理器用于處理控制信號，電磁閥控制器用于控制氣路的通斷， 調壓閥控制器用于調節氣壓；信號反饋單元包括溫度傳感器和氣壓傳 感器組件，其用于將氣壓校正值反饋給信號
項目階段:
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