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一種采用圖形噴嘴的有機氣相成膜裝置及其成膜方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
有機氣相成膜
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種采用圖形噴嘴的有機氣相成膜裝置，包括蒸 發腔、與蒸發腔連通的噴印頭及與噴印頭相距一定間隙的基板載臺， 基板載臺受控制相對噴印頭分別沿噴印頭主軸方向、與噴印頭主軸垂 直平面內的水平方向以及平面內與水平方向垂直的第三方向直線移 動。噴印頭包括噴印頭基體、包覆噴印頭基體的加熱套、位于噴印頭 基體一端的圖形噴嘴、與圖形噴嘴連通的混合腔以及連通所述蒸發腔 與混合腔的氣體入口。圖形噴嘴的開口具有一定形狀，蒸發腔用于蒸 發固體有機材料得到氣相有機材料并通過噴印頭的氣體入口進入噴印 頭的混合腔，接著
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