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一種精密減振組件及由其構成的減振平臺
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
精密減振組件
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種精密減振組件及由其構成的減振平臺，具有減振和 Z 向定位功能。精密減振組件包括被動減振部件、主動減振執行器和外框架。被動減振部件采用雙腔體結構的活塞桿，氣囊和壓力腔分別位于兩個腔體內，氣囊具有較大的縱向支撐力和較低的剛度，能隔離衰減高頻的振動。主動減振執行器為直線型音圈電機，與被動減振部件并聯，根據被控對象振動狀態和位置信息，對被動對象施加作用力，帶動被控對象運動到指定的位置和對振動進行補償。至少三個精密減振組件構成的減振平臺具有多自由度減振，Z 向精確定位和調平調焦功能。本發明可用
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