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一種低熱阻熱界面制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
低熱阻熱界面
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明提出了一種低熱阻熱界面制備方法，首先在襯底上制備定向生長碳納米管(VACNT)，然后對VACNT 進行改性和磁化，接著通過磁對準提高 VACNT 與目標襯底間的接觸幾率，最后利用鍵合技
術實現 VACNT 與目標襯底間的鍵合。由于磁力和壓力的共同作用，VACNT 與目標襯底間形成了保形接觸，從而有效降低了界面接觸熱阻。本發明解決了 VACNT 直接作為熱界面材料的難題，為納米封裝與互
連、低熱阻封裝技術研發開辟了新思路，對促進光電集成技術發展和功率器件的研發具有推動作用
項目階段:
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