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一種用于真空環境的減振器
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
減振器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明提供了一種用于真空環境的減振器，包括一腔體，腔體內設有由氣缸和活塞構成的空氣彈簧，氣缸的側臂連接高壓氣源，氣缸底部與腔體底部之間、氣缸內側壁分別設有一氣浮，腔體的兩側壁中間部分分別嵌入了一密封柔性連接件，其中一側臂還設有用以連接抽氣機的排氣孔。本發明在具有優良減振性能的同時，消除了減振器對周圍環境的氣體排放，維持設備較低的重心提高設備的穩定性，可廣泛應用在 EUV 光刻機、電子束光刻機等對真空要求嚴格的精密設備及測試平臺。
項目階段:
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