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一種固定音圈電機直驅式 X-Y 微動平臺
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
X-Y 微動平臺
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明涉及一種直線電機直驅的二維微動平臺，為一種固定音圈電機直驅式 X-Y 微動平臺，包括基座、音圈直線電機、X 向運動平臺、Y 向運動平臺、解耦部件和光柵尺等。音圈直線電機直接驅動 X-Y二維微動平臺；X 方向和 Y 方向音圈直線電機均固接于底座，通過解耦部件實現 X 向和 Y 向的運動；利用光柵尺來檢測電機位置。本發明為提高運動速度和運動精度，屏棄了傳統的旋轉電機傳動機構，采用直線電機直接驅動；為降低運動慣量，設計了解耦部件，X、Y 向直線電機均固定來實現 X-Y 二維運動；為實現高精度、高穩定
項目階段:
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