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一種離子團束 3D 打印裝置及方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
離子團束
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種離子團束 3D 打印裝置，包括離子源、離子團 束打印頭、XYZ 三軸移動平臺和載物平臺，離子源用于提供離子團束； 離子團束打印頭包括牽引電極、一級靜電透鏡、限束光闌、多級磁偏 轉裝置和二級靜電透鏡，牽引電極用于從離子源中引出離子團束；一 級靜電透鏡用于提高離子團束的速度；多級磁偏轉裝置用于調整離子 團束的位置以減少像散以及實現離子團束消隱；二級靜電透鏡用于聚 焦得到所需孔徑的離子團束；XYZ 三軸移動平臺用于帶動離子源和離 子團束打印頭移動；載物平臺，用于承接工件。本發明采用將離子團
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