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一種芯片位置和傾角檢測裝置及方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞: 芯片位置
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項目成果/簡介:

本發(fā)明公開了一種芯片位置和傾角檢測裝置,包括光源組件、光路傳輸組件、攝像組件以及自準(zhǔn)直儀,其中光源組件由分別對應(yīng)于芯片和基板的第一、第二光源構(gòu)成;光路傳輸組件由第一、第二和第三半透半反棱鏡以及第一、第二反射鏡共同構(gòu)成,由此在同一光路系統(tǒng)中實現(xiàn)對芯片和基板位置的檢測;攝像組件由具備不同視野的第一和第二攝像單元構(gòu)成,其中第一攝像單元用于采集芯片或基板的大視野圖像,根據(jù) MARK 點實現(xiàn)初步定位,第二攝像單元用于采集其具體位置圖像;自準(zhǔn)直儀用于獲取代表芯片水平傾角信息的法線傾斜量。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的檢測

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