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一種包覆超細粉體的原子層沉積方法與裝置
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
包覆超細粉體
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種包覆超細粉體的原子層沉積方法與裝置，該方法的特征在于，在前驅體的吸附過程中引入了流化氣，利用流化氣吹散粉體，實現粉體的充分分散。該裝置包括反應腔體，供應系統，真空系統，加熱系統，監測系統和控制系統，其特征在于，供應系統包括流化氣源，流化氣通過流化氣輸送支路進入反應腔體，用于將粉體吹散到整個反應區域。本發明的方法與裝置能有效提高粉體包覆率與沉積均勻性，并使得在每次沉積過程中對大量粉體進行包覆成為可能，提高了粉體包覆的效率。
項目階段:
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