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一種激光輔助低溫生長氮化物材料的方法與裝備
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
氮化物材料
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種激光輔助低溫生長氮化物材料的方法及裝備，
該方法將非氮元素的前驅體蒸汽和活性氮源前驅體氣體分別輸送到反
應腔室內溫度為 250 至 800℃的襯底材料處，利用波長與活性氮源分
子鍵共振波長相等的激光束作用于活性氮源氣體，使激光能量直接耦
合至活性氮源氣體分子，加速 NH 鍵的斷裂，提供充足的活性氮源，
使非氮元素與活性氮源發生化學反應，沉積第 III 族氮化物膜層材料，
持續作用直到沉積物覆蓋整個襯底
項目階段:
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