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一種偏振衍射光柵結構
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
光柵結構
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種偏振衍射光柵結構，包括基底層、光柵層，
其特征在于：光柵層的各塊狀區域柵條方向、周期、占空比不同；光
柵層位于基底層上方，需經過曝光、顯影、刻蝕形成光柵層；本發明
可以克服傳統偏振衍射光柵參數調整只有一個自由度的缺點，從三個
自由度來控制光柵透射光的分布，以達到任意光束的分束/合束功能，
其理論分/合束效率達 99％，且光柵器件的體積小，可應用在抗反射器、
相干偏振合束、測量 Stokes 參量、生物
項目階段:
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