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一種芯殼型納米線三維 NAND 閃存器件及其制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞：
閃存器件
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種非易失性高密度三維半導(dǎo)體存儲器件，該存
儲器件由芯殼型納米線作為 NAND 串組成，所述 NAND 串垂直于襯
底。利用芯殼型納米線作為 NAND 串制作存儲器件，不僅使器件的結(jié)
構(gòu)更加簡單，也減少了原有器件制作過程中復(fù)雜的制造工藝步驟，簡
化了制備過程，對降低制造成本有積極作用
項(xiàng)目階段:
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