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一種熱場協調控制的提拉法晶體生長爐
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
晶體生長爐
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種熱場協調控制的提拉法晶體生長爐，包括絕
熱外殼及設置在絕熱外殼內的生長室，生長室設置有坩堝，絕熱外殼
的外部設置有用于對坩堝進行加熱的主電磁感應線圈，主電磁感應線
圈的下方設置有副電磁感應線圈，主電磁感應線圈和副電磁感應線圈
之間存在間距，有多根底部進氣管和多根中部進氣管平行伸入絕熱外
殼內，絕熱外殼的頂部設置有氣流出口，氣流出口作為籽晶桿移動通
道，絕熱外殼內設置有用于削弱輻射傳熱的可伸縮遮熱板和用于調整
項目階段:
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