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一種微向下提拉晶體生長爐
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
晶體生長爐
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種微向下提拉晶體生長爐，包括自上而下設置
的上部絕熱層和底部絕熱層(13)，底部絕熱層(13)內還設置有觀察孔
(4)，觀察孔(4)呈管狀，其中心軸線與底部絕熱層(13)頂表面的法線的
夾角為 45°～60°；內層絕熱層、中間絕熱層和底部絕熱層(13)均由
質量比為 1:9 的氧化鋯和氧化鋁壓制煅燒而成。本發明設置的觀察窗
口能夠及時觀察晶體生長界面的晶體生長狀況；并且，該觀察窗口對
晶體生長爐的溫度場影響小，能夠
項目階段:
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