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重慶大學
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LED用透明電極

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.a00n.com
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所屬領域:
新材料及其應用
項目成果/簡介:

傳統上多采用Ni/Au金屬作為LED的電極,降低出光效率,因此,需要采用透明電極。針對LED對透明電極的要求,利用磁控濺射法在玻璃襯底上設計不同氣氛、襯底溫度、工作氣壓、濺射功率、靶距、濺射時間等參數下的實驗制備CIO和ZAO薄膜,探尋制備兩類薄膜的合適的工藝條件;并研究了退火處理對制備薄膜的結構和性能的影響。制備出高質量、高性能的CIO和ZAO薄膜,發現薄膜的透光率均在80%以上,甚至可高達91%,電阻率達到10-3Ω.cm數

項目階段:
產業化應用
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