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CVD金剛石應用技術
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
CVD金剛石應用
所屬領域:
項目成果/簡介:
在國內首次研制成功了大面積EACVD金剛石沉積自動控制系統，制備出直徑120mm、厚度1.9mm的金剛石厚膜；首次設計了基于HFCVD設備的金剛石薄膜多試樣連續沉積系統；CVD金剛石膜沉積設備與工藝的整體水平處于國內領先，達國際先進。系統開展了多種金剛石膜的應用研究，成功制備出與襯底結合良好的金剛石涂層刀具；成功地在陶瓷軸承內孔和外圓上獲得了納米金剛石涂層；研制成功了用于降解難處理污水的金剛石電化學電極。該成果適用于工具、生物醫學、環保等領域。
成果圖片：
項目階段:
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