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384×288非制冷紅外探測器

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.a00n.com
關鍵詞: 紅外探測器
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

本項目瞄準新一代夜視、監控裝備在電力、安全監控等國民經濟領域的急需,主要以解決非制冷紅外探測器中大陣列、小光敏元、高性能瓶頸問題為突破口,提出了低應力、復用橋墩的器件微橋結構,突破了器件總體設計、納米氧化釩敏感材料制備、多層復合微橋結構與工藝、讀出電路設計等關鍵技術,在國內首次研制出陣列規模384×288、像元尺寸35μm×35μm的非制冷紅外焦平面(UIRFP)探測器,該成果與同期國外同類器件比較,主要技術指標達到國際先進水平(部分屬國際領先);申請發明專利55項(授權15項,申請美國專利3項);

項目階段:
產業化應用
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