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大尺寸多頻段應用BiLuIG單晶薄膜材料
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
BiLuIG石榴石單晶薄膜
所屬領域:
項目成果/簡介:
本項目共包括8項授權專利，另有20余項專利正處于公開階段。
項目主要創新點為：（1）提出了一種Bi+Lu共摻雜新配方，實現了在傳統GGG襯底上外延出具有大法拉第效應的BiLuIG石榴石單晶薄膜材料。 （2）提出了“緩沖法”技術，克服了無鉛液相外延工藝中熔體粘度偏高，薄膜均勻性差的難題，成功制備出3英寸的高質量單晶BiLuIG薄膜材料，厚度可達20微米以上，其法拉第效應是含鉛工藝制備材料的10倍。
項目總體達到國際先進水平，其中在Bi+Lu共摻雜材料設計和無鉛液相
項目階段:
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