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一種雙熱源垂直型氣氛反應爐
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
氣氛反應爐
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種雙熱源垂直型氣氛反應爐，主要由控制器、旋轉加熱基臺、爐膛三部分組成，其用途為加熱襯底臺在所需反應溫度下與加熱底臺可升華材料產生的氣氛發生化學反應生成所需薄膜。本發明采用加熱襯底臺與加熱底臺上下面對放置，加熱底臺上材料受熱分解產生的氣體密度較小從而向上飄動更易于與加熱襯底臺上的襯底接觸反應；并且襯底所在的加熱襯底臺是可以調速旋轉，所反應制備的薄膜可以更加均勻，同時也能調整與加熱底臺的距離；本發明采用雙熱源加熱，可以分別調整加熱底臺的材料升華溫度Ｔ１與加熱襯底臺的襯底溫度Ｔ２，使得氣氛反
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