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氧化物薄膜晶體管材料及其器件
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
氧化物薄膜晶體管
所屬領域:
項目成果/簡介:
本項目主要研究和開發高遷移率透明氧化物半導體薄膜，重點研究摻
鋅氧化銦(IZO)透明氧化物半導體薄膜;篩選合適的介質層材料，研 究和制備優質致密的透明介質層薄膜;研究制備摻鎢氧化銦(IWO)高 遷移率 TCO 薄膜，使其與 TOS 薄膜具有良好的電接觸特性;研究制 備采用上述透明導電氧化物電極、透明氧化物半導體溝道層和透明介 質層構成的全透明 TFT，研究 TFT 的尺寸和各種工藝技術對 I-V 特
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