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多模式三維測量顯微鏡技術及儀器
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
顯微鏡技術
所屬領域:
項目成果/簡介:
隨著微納加工技術的發展，微納尺度空間三維測量技術需求越來越大。目前， 高端微納結構三維測量儀器主要是國外進口設備，國內在核心技術和工程化方面 尚不足。在系統研究干涉顯微測量技術和結構光共焦測量技術的基礎上，提出了 干涉共焦顯微鏡方案，并得到專利授權，進行了仿真驗證，光機結構設計和加工， 核心算法研究，軟件編寫，原型樣機測試和改進等工作。提出一種基于可編程照 明的顯微鏡測量模式(申請專利)克服樣品多反射率的影響;提出了一種基于選 擇采樣的相位求取算法，克服相移誤差影響;在核心器件設計上，任務開展了低
項目階段:
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