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一種超精密工作臺
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞：
超精密工作臺
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種超精密工作臺，它包括宏運(yùn)動平臺與微位移工作臺，其中宏運(yùn)動平臺的導(dǎo)軌形式采用氣浮導(dǎo)軌，微位移工作臺與宏運(yùn)動平臺連接，并隨宏運(yùn)動平臺一起沿 X 向、Y 向移動。微位移工作臺中包含壓電智能結(jié)構(gòu)，其中該壓電智能結(jié)構(gòu)既能感知外界對其施加的力、位移等信號，又能主動地對外界施加力、位移等。此外，壓電智能結(jié)構(gòu)不僅可以用于超精密工作臺的微位移工作臺中，而且也可以制成類似彈簧-阻尼系統(tǒng)的俘能機(jī)構(gòu)，應(yīng)用在超精密工作臺中。本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)床、超精密測量、微電子制造等領(lǐng)域。
項(xiàng)目階段:
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