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一種多自由度光學測量系統
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
光學測量
所屬領域:
項目成果/簡介:
研發階段/n本發明公開了一種多自由度光學測量系統，可應用于二維小角度（或微位移）的測量。此種系統包括激光發射器、誤差敏感單元、光電接收單元以及信號處理單元。誤差敏感單元包括兩個直角棱鏡（２）、（３）；光電接收單元包括光電接收器件（５）和準直物鏡（４）；測量位移時須把準直物鏡（４）去掉。光電接收器件（５）置于準直物鏡（４）的焦平面上，半導體激光器（１）發出的基準光束經直角棱鏡（３）和直角棱鏡（２）反射后，通過準直物鏡（４）將其光斑成像在光電接收器件（５）的光敏面上，其中半導體激光器（１）和光電接收單元
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