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一種Sn摻雜CrO2薄膜及其制備方法
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
CrO2薄膜
所屬領域:
項目成果/簡介:
小試階段/n磁性半金屬CrO2薄膜在自旋電子器件中有廣闊的應用前景，然而，其化學性質不夠穩定，即使在室溫下也容易轉化為Cr2O3。本發明采用SnI4和CrO3作為前驅物，通過化學氣相沉積(CVD）成功制備出Sn摻雜CrO2薄膜，使薄膜的熱穩定性大大提升，從而解決了CrO2薄膜穩定性的問題。
項目階段:
知識產權編號:
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