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用于材料表面改性用離子源技術(shù)
2021-01-12 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞：
離子源技術(shù)
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
冷陰極離子源：研制的冷陰極離子源具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，引出束流大的特點(diǎn)。目前已有引出口徑為6 ，9 和20 ×5 的離子源產(chǎn)品提供給客戶，引出束流分別有幾十到幾百 ，放電電流幾百 到幾 ，引出電壓可以提供有100 -1500 可調(diào)和500 -30 可調(diào)的2種電源，在離子束照射的有效范圍內(nèi)不均勻性小于10%，穩(wěn)定度為10%。該源被廣泛應(yīng)用于輔助鍍膜，離子刻蝕，離子清
項(xiàng)目階段:
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