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半導體集成電路生產工藝監測設備
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
半導體
所屬領域:
項目成果/簡介:
CSM4A系列多功能C-V測試系統，經國家“七五”、“八五”兩屆重點科技攻關，已在我校研制成功，并被多個半導體集成電路生產廠家和研究所使用。該項目由陳光遂教授主持完成。原電子工業部鑒定認為：該C-V測試系統具備八項測試功能，數據可靠，實用性強，人機界面良好。總體水平已達到九十年代國際先進水平，并有獨創性，可以替代進口設備。主要測試功能有：MOS高頻CV，M
項目階段:
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