|
華中科技大學
搜 索
高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務平臺
搜 索
華中科技大學
教育部
- 74 高校采購信息
- 3295 科技成果項目
- 0 創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項目
- 0 高校項目需求
一種光刻掩模優(yōu)化設(shè)計方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞：
光刻掩模
所屬領(lǐng)域:
項目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種光刻掩模優(yōu)化設(shè)計方法，該方法首先依據(jù)表 征掩模的網(wǎng)格格點尺寸大小對掩模進行分級，在粗網(wǎng)格上快速求解掩 模，然后對在粗網(wǎng)格上求解得到的掩模進行插值傳播到下一級較細網(wǎng) 格上進行細化校正，最終實現(xiàn)了掩模的快速優(yōu)化。
項目階段:
試用
掃碼關(guān)注，查看更多科技成果
取消
確定