一種用于識別半導體納米結構形貌的方法

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本發明公開了一種基于支持向量機的納米結構形貌識別方法。首先生成訓練光譜，確定支持向量機的核函數與訓練方式；生成測試光譜及多種不同的支持向量機；利用測試光譜對支持向量機進行特征形貌識別準確率測試，找出識別準確率、訓練光譜數目和核函數之間的關系，作為支持向量機訓練的指導原則；對測試光譜添加不同量級的噪聲影響，將含有不同量級噪聲的測試光譜用于支持向量機中進行測試，找到在能保證正確識別率較高情形下所能添加的最大噪聲量級，作為另一指導原則；利用兩個指導原則，訓練得到最優的支持向量機；對真實待識別結構對應的測量光譜進行映射，識別其形貌。本發明可以對半導體納米結構的形貌特征進行快速、精確地識別。

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