北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場探針臺，采用無磁材料制成，采用亥姆霍茲線圈正交放置，產生空間多維磁場。線圈可采用自然冷卻（磁場較小）或水冷結構（磁場較大），標配線圈過熱保護裝置。配合高精度雙極性直流電源可長時間穩定工作。通過軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流，可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現水平方向二維移動和360度轉動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

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應用范圍：

錦正茂三維磁場探針臺 廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。三維探針臺和錦正茂自主研發的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現了空間任意方向上的矢量場合成。

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可選附件：

þ 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

þ CCD或C-MOS視頻成像裝裝置

þ Chuck運動裝置

þ 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

þ 1Mpa正壓系統升級

þ 超高溫升級選件

þ 超高真空升級選件

þ 各類探針夾具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 轉接頭      

þ 靜音真空泵

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