產(chǎn)品詳細(xì)介紹技術(shù)指標(biāo)：
　　矩形空氣軸承，直線電機(jī)驅(qū)動
　　外形尺寸：250X130X140mm
　　設(shè)計行程：70mm
　　定位分辨率：1μm或0.5μm
　　重復(fù)定位精度：2μm
　　預(yù)留試驗裝置安裝接口